| EN
您现在所在位置: 首页 > 供应产品 > 核心组件 > 磁流体高密封部件

半导体设备

核心组件

技术支持

磁流体高密封部件

发布日期:2022/6/30 0:00:00

产品介绍

磁流体密封装置是由不导磁座、轴承、磁极、永久磁铁、导磁轴、磁流体组成,在均匀稳定磁场的作用下,使磁流体充满于设定的空间内,建立起多级“O型密封圈,从而达到密封的效果;每级密封圈一般可以承受大于0.150.2个大气压的压差。总承压为各级压差之和,一般设计为2.5个大气压,完全满足真空密封的需要。bat365在线登录入口生产磁流体密封装置有多种安装结构,也可根据客户的特殊要求制造。

如今,我们的产品广泛应用于晶体生长、离子刻蚀、液晶再生、化学气相淀积、真空镀膜、真空反应釜等设备上。在一些特殊领域,如:超高速动密封装置,超高压(极限压力:14Mpa)动密封装置等环境得到了有效的应用。


主要优点及应用

长寿命:无磨损,具有极佳的工作可靠性。

高性能:极限真空度10-6 Pa,泄漏率10-12 Pa.m3/sec。

高适应性:从低速到高速,从低压到高压,从室温到高温,均能满足各种设备的要求。

0513-59999369
XML 地图