等离子体桥中和器

产品介绍

离子束中和系统，通常称为等离子体桥中和器(PBN)，作为离子束(蚀刻)系统的一部分。等离子桥中和器(PBN)将电子注入到束流中，它的作用是抵消基片上的正离子电流。 这防止了基片上正电荷离子的积聚。由于离子束带正电并倾向于扩散(电荷相斥)，向离子束中注入电子也有助于保持离子束的准直。 由于抑制栅上的负电位，由PBN提供的电子不重新进入栅极集合。

等离子桥中和器(PBN)有三个基本功能:1. 启动源（点火）2. 减少基板上的电荷积聚3.辅助校准离子束

主要优点及应用

bat365在线登录入口独有的PBN设计在特定的操作方法中使用，极大地延长了灯丝寿命减少部件损耗，bat365在线登录入口PBN产品可以容易地提供至少500小时的灯丝寿命。

本产品不仅适用于低能量离子束系统，用于束几何形状（Beam geometry）和束撞击的基板中和双方，还有利于高能量离子束的基板表面中和。