| EN
您现在所在位置: 首页 > 供应产品 > 核心组件 > 真空腔体

半导体设备

核心组件

技术支持

真空腔体

发布日期:2022/6/30 0:00:00

产品介绍

真空腔体(Vacuum chamber)是真空系统的核心,更是决定真空设备性能好坏的关键。bat365在线登录入口的真空腔体可以针对客户的具体应用定制加工,主要应用于IBE、IBD、ALD 、ALE 、PECVD等。
常用的材料有不锈钢、铝合金、碳钢等,涉及的表面处理有焊接、喷砂、抛光、电解抛光、阳极氧化等,另外也可以依照客户的需求进行热处理应力消除或是振动应力消除等,为客户提供更完整的真空制程解决方案。


产品特点
 真空零件制造经验丰富,各种规格真空零件库存齐全可供真空腔体制造时使用
 加工能力及场地完整,厂内即可完成板料切割、机械加工、焊接、清洗、组装及测漏等工程
 使用先进3D设计软体,方便与客户沟通及现场设计加工
 公司有真空泵、氦检仪等专业进口设备进行大型真空腔体腔体的抽气及测漏作业,真空腔体的品质有保证。




0513-59999369
XML 地图